化学镀镍金(NiAu)/镍钯金(NiPdAu)垂直生产线
| 序号 | 项目 | 规格 |
| 1 | 基板尺寸 | 510~516 x 614~620mm |
| 2 | TT | Min MCT: 12分(1筐) |
| 3 | 产能 | 45 S/片 13,000~20,000m2/M |
| 4 | 加工条件 | 可预存多种加工程序、满足多条件、多功能切换 |
| 5 | 高稳定性控制系统 | 关键部件采用日系部品实现高稳定性运行 |
| 6 | 高品质 | 喷管的优化配置+摇摆震动系统 |
| 7 | 搬送系 | 采用伺服马达+齿条传动,精度控制在±5mm以内(槽体V型鞍座) |
| 8 | 异物对策 | ①行车下部防止异物落下 ②异物改良对策后的SUS插筐设计 |
| 9 | 过滤循环系统 | 1um超高精度过滤系统 |
| 10 | 节能设计 | 高效马达、自动节能模式 |
| 11 | 减排设计 | 设备密闭化,气体排放量减少排出 |
| 12 | 可追溯性(选配) | 可向MES系统提供设备及工艺数据 |