水平处理生产线
| 序号 | 项目 | 规格 |
| 1 | 基板尺寸 | 510~517*614~620;厚度0.06~1.0mm |
| 2 | 框治具尺寸 | 705mm(W)x623mm 厚度5mm |
| 2 | TT | 26秒/枚 |
| 3 | 产能 | OEE 85% 20000m2/月 |
| 4 | 加工条件 | Min: L/S 10/10 |
| 5 | 高稳定性控制系统 | 关键部件采用日系部品实现高稳定性运行 |
| 6 | 高品质 | .框治具搬送干膜无划伤 .孔内干膜无残留 .使用二流体清洗方式,避免产品和框治具因清洗不干净从而发生品质风险 |
| 7 | 异物对策 | 干燥仓磁驱动搬送 |
| 8 | 过滤循环系统 | 1μm超高精度过滤系统 |
| 9 | 节能设计 | 高效马达、无产品时喷淋系统自动运转节能模式 |
| 10 | 减排设计 | 设备密闭化,气体排放量减少排出。 |
| 11 | 可追溯性(选配) | 可向MES系统提供设备及工艺数据 |